本工藝有3至9個微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風(fēng)量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內(nèi)有效作用于被處理空間（區(qū)域），由于微波的功率相對較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設(shè)計只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預(yù)激發(fā)能。由于微波的預(yù)激功能，極大的提高等離子體區(qū)，極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術(shù)的運用，本工藝在同類設(shè)備的比較中顯得設(shè)備精煉而效果優(yōu)越。
2：低溫等離子體激發(fā)
    本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術(shù)，國外諸多科研機(jī)構(gòu)室稱在常壓下實現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應(yīng)用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，更大限度地在無極管區(qū)實現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有極強(qiáng)的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種能。在實踐應(yīng)用中，更大的科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內(nèi)充什么樣的氣體有經(jīng)濟(jì)價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。
3:極板區(qū)
    根據(jù)被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風(fēng)的作用下，極區(qū)由于負(fù)壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當(dāng)概率的粒子可能實現(xiàn)低溫等離子體。
根據(jù)三類的功能區(qū)，集中的目的是實現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術(shù)與一體，經(jīng)山東、江蘇、浙江三地多家醫(yī)藥、化工企業(yè)的實地測試，原廢氣的去除率非常理想，根據(jù)尼普公司的測試，高濃度廢氣去除率可達(dá)84%以上。
    電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現(xiàn)廢氣的有效處理是極為復(fù)雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內(nèi)完成。從理論到模型都能探究到相關(guān)的機(jī)理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內(nèi)躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分?jǐn)嗔眩谘┍朗降淖矒糁袛嗔押蟮牧Ｗ佑捎谫|(zhì)量更小，被進(jìn)一步躍遷，與反應(yīng)堆內(nèi)的氧離子氫氧根離子發(fā)生反應(yīng)，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應(yīng)堆內(nèi)臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。
低溫等離子體去除污染物的機(jī)理：
    等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：
    (1) 電場＋電子→高能電子
    (2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活性基 團(tuán)
    (3) 活性基團(tuán)＋分子(原子)→生成物+熱
    (4) 活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱
    從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。
低溫等離子體去除污染物的原理：
    低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項具有極強(qiáng)潛在優(yōu)勢的，等離子體受到了國內(nèi)外相關(guān)學(xué)科界的高度關(guān)注。
低溫等離子體技術(shù)在環(huán)境工程中的應(yīng)用：
    低溫等離子體技術(shù)在廢氣處理中的應(yīng)用隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴(kuò)散和漂移到較遠(yuǎn)的地方，給環(huán)境帶來嚴(yán)重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產(chǎn)生極大的危害；另外工業(yè)煙氣的無控制排放使全球性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(主要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導(dǎo)致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災(zāi)難頻繁發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟(jì)、可行性強(qiáng)的處理方法勢在必行。
    降解揮發(fā)性有機(jī)污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學(xué)、放電化學(xué)、化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)及真空技術(shù)等基礎(chǔ)學(xué)科之上的交叉學(xué)科。因此, 目前能成熟的掌握該技術(shù)的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術(shù)處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術(shù)。
是否是低溫等離子體處理技術(shù)的簡單判斷方法：
    現(xiàn)在，各傳媒上宣傳低溫等離子廢氣凈化的產(chǎn)品和技術(shù)很多，可這些產(chǎn)品的宣傳大部分都是在炒低溫等離子體概念。如何判斷是否是真正意義上的低溫等離子體技術(shù)？可以用下面兩個簡單的規(guī)則來判斷，即使你不懂低溫等離子體技術(shù)也能判斷出是真是假。
    (1) 在廢氣凈化的通道上必須充滿了低溫等離子體。這條規(guī)則判斷很簡單，只要用眼睛觀察一下處理通道是否充滿紫藍(lán)色的放電就可以直觀的了解是否是低溫等離子體了（需要注意的是不要將各種顏色的燈光當(dāng)作電離子體放電）。如果在廢氣處理的通道上只零星的分布若干的放電點或線，則處理的效果是非常有限的，因為，大部分的(VOCs)氣體沒有進(jìn)過低溫等離子體處理區(qū)域。
    (2) 低溫等離子體處理系統(tǒng)必須要有一定的放電處理功率。通常需要在2～5瓦時/米3。即1000米3/時的風(fēng)量需要處理的電功率為2KW～5KW。如果號稱1000米3/時的風(fēng)量只需要幾十或幾百瓦的電功率，則多也就是靜電(除塵)處理或局部處理而已。要想分解VOCs沒有一定的能量是不可能的。