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濟(jì)南半導(dǎo)體廠(chǎng)凈化車(chē)間廢氣方法-冷凝吸收+光解除臭

發(fā)布日期:2020-09-15瀏覽次數(shù):19971
  濟(jì)南半導(dǎo)體廠(chǎng)凈化車(chē)間廢氣方法-冷凝吸收+光解除臭

  在濟(jì)南某半導(dǎo)體廠(chǎng)已采用冷凝吸收器進(jìn)行去光阻工序排氣前的預(yù)處理凈化并回收,回收效率約在90%以上,但是還會(huì)有少量的有機(jī)惡臭污染物,礙于既有處理等級(jí)限制,無(wú)法將所有問(wèn)題一并解決,該怎么辦呢?

  該廠(chǎng)在找多家環(huán)保設(shè)備廠(chǎng)家聯(lián)系的時(shí)候,找到了我們,我們根據(jù)其實(shí)際情況采用了建議采用uv光解除臭設(shè)備,其系利用高能高臭氧UV紫外線(xiàn)光束照射,裂解惡臭氣體,以去除及凈化臭味物質(zhì)。該設(shè)備購(gòu)置運(yùn)行成本低,適應(yīng)性強(qiáng),效率高,尤其適用于半導(dǎo)體廠(chǎng)、塑料廠(chǎng)、煉油廠(chǎng)、橡膠廠(chǎng)、化工廠(chǎng)、制藥廠(chǎng)、污水處理廠(chǎng)、垃圾轉(zhuǎn)運(yùn)站等排放臭味氣體的處理,可以解決吸附技術(shù)無(wú)法解決的臭味問(wèn)題。



因所處理的廢水含高科技業(yè)去光阻機(jī)臺(tái)的DMSO廢水,因此于廢水處理過(guò)程DMSO還原而產(chǎn)生DMS等還原性臭味,以DMS而言,其嗅覺(jué)閾值很低(<0.011-0.063ppmv),大氣中只要含微量(低濃度),就會(huì)產(chǎn)生明顯的惡臭氣味,若以現(xiàn)有冷凝吸收設(shè)備,無(wú)法**解決所衍生的臭味問(wèn)題,車(chē)間無(wú)法**解決廢水廠(chǎng)有機(jī)廢氣臭味的問(wèn)題。
對(duì)于半導(dǎo)體廠(chǎng)家而言,在去光阻工序中常會(huì)使用的去光阻液,雖絕有些工廠(chǎng)車(chē)間目前都已采用冷凝吸收器進(jìn)行去光阻工序排氣前的預(yù)處理凈化并回收,回收效率約在90%以上,但對(duì)于其所衍生的低濃度(<5ppm)有機(jī)惡臭污染物,礙于既有處理等級(jí)限制,無(wú)法將所有問(wèn)題一并解決,也長(zhǎng)期造成從業(yè)者許多困擾,這些含硫化合物氣體不但是造成高科技業(yè)或相關(guān)園區(qū)廢水廠(chǎng)空氣污染臭味投訴的主因,同時(shí)也是使被污染的空氣導(dǎo)引進(jìn)入如半導(dǎo)體晶圓制造廠(chǎng)及TFT-LCD。
 
設(shè)備配置:噴淋+光解,光解:THY-EQ30000廢氣UV高效光解凈化設(shè)備;  處理標(biāo)準(zhǔn):惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-1993)排放標(biāo)準(zhǔn);

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