所謂低溫等離子體的狀態(tài)就是在等離子體中原子、 分子、電子、離子的狀態(tài)。而這些狀態(tài)是通過(guò)不同的等離子體診斷方法而得到的，這些狀態(tài)是與不同類型的等離子體裝置，放電條件，氣壓條件等有關(guān)。而等離子體是低溫等離子凈化器中的主要配件，了解低溫等離子體狀態(tài)就成為必要的工序，我公司對(duì)于獲取低溫等離子體的診斷方法如下：
　　1.光譜診斷。光譜診斷主要是發(fā)射光譜。發(fā)射光譜法通過(guò)對(duì)等離體本身所發(fā)出的光進(jìn)行分光分析，來(lái)測(cè)定等離子體中存在的分子、原子的激發(fā)和電狀態(tài)。根據(jù)測(cè)得的發(fā)光強(qiáng)度可確定活性粒子的濃度并計(jì)算出電子溫度等。發(fā)射光譜需要分子獲得較高的能量。
　　2.質(zhì)譜法。質(zhì)譜法可對(duì)等離子體的組成粒子，特別是離了進(jìn)行直接的測(cè)定。一般是在線測(cè)量，即通過(guò)差動(dòng)排氣法將等防體的組成粒子，特別是離子進(jìn)行直接的測(cè)定，以鑒定等離子體中的粒子種類。如果再與能量分析儀組合，則可測(cè)量這些粒 子的能量。
　　3.靜電探針。這種方法是由Longmuir發(fā)明的探測(cè)等離子體特性的一種方法。由于簡(jiǎn)單且用途多，一直沿用至今。對(duì)直流輝光放電，等離子體的電位有確定值，可用單探針?lè)?，?duì)高頻放電，微波放電等，則用單探針結(jié)合補(bǔ)償探針或雙探針?lè)?。通過(guò)測(cè)量探針特性，即測(cè)量液入探針的電流和加到探針上的偏壓之間的關(guān)系，來(lái)推算同等離子體中的電子溫度，離子密度及等離體電勢(shì)。
　　4.其它。一些新的方法如電子順磁共振（EPR），激光誘導(dǎo)熒光法(LIF)，來(lái)測(cè)等離子體中原子、分子的電子態(tài)，微波干涉測(cè)量電子密度等。
通常要采用多種方法來(lái)互相驗(yàn)證，才能確定等離子體狀態(tài)。
　　低溫等離子體的狀態(tài)不同所采用的廢氣凈化方法就不同，效果也自然不同，河北廣綠環(huán)保設(shè)備有限公司司專業(yè)針對(duì)廢氣處理設(shè)備中采用等離子體的工程進(jìn)行研究，小具成效，相關(guān)有機(jī)廢氣處理工程可聯(lián)系我們。1572049，0226

本文：低溫等離子體狀態(tài)信息獲取的幾種基本的診斷方法