電子半導(dǎo)體廢氣治理方案

發(fā)布日期：2022-12-16瀏覽次數(shù)：9895

　　電子半導(dǎo)體廢氣治理方案

　　電子廠半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù)，在實際設(shè)計中，需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。

　　半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

　　半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機廢氣，主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，與半導(dǎo)體制造工藝相比，半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣

　　針對電子廠半導(dǎo)體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：

　　將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

電子半導(dǎo)體企業(yè)廢氣沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理工藝