提煉硅產(chǎn)生酸氣怎么凈化處理

發(fā)布日期：2022-10-11瀏覽次數(shù)：6520

　　提煉硅產(chǎn)生酸氣怎么凈化處理

　　半導體廠主要生產(chǎn)半導體原材料，比較高純度的硅，在提煉硅的時候，可能存在空氣和水污染。空氣污染主要來源于在處理過程中揮發(fā)出來的酸性氣體，水污染除了有加工使用的化學物質(zhì)外，還可能帶來重金屬的污染。

　　常見的有四氯化碳、苯類、三氯乙烯、酸類、環(huán)己酮、丙酮、鉛等，此外還存在噪聲、金屬粉塵、高頻、電離輻射等有害因素。

　　處理酸性氣體采用酸霧處理塔，又可稱為酸霧凈化塔，酸霧凈化器，酸霧洗滌塔，酸霧凈化設備，酸霧廢氣處理塔等。

　　酸堿噴淋塔的結(jié)構組成

　　酸堿廢氣處理塔分單塔體和雙塔體。采用了圓形塔體，用法蘭分階段相連接而成。具體的由貯液箱、塔體、進風段、噴淋層、填料層、旋流除霧層、出風錐帽、觀檢孔等組成。

　　有機廢氣和含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣。

　　對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣，半導體廠大多采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進行處理。但由于半導體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠，因此部分酸性/堿性廢氣在輸送z中央廢氣處理系統(tǒng)前，常因氣體特性導致在管道中結(jié)晶或粉塵堆積，造成管道堵塞后導致氣體外泄，嚴重者甚z引發(fā)爆炸，危害現(xiàn)場工作人員的工作安全。

　　酸堿廢氣處理工藝流程

　　酸堿廢氣處理具體的工藝流程：除去的酸霧煙氣→進入到風管→歷經(jīng)酸堿噴淋塔凈化處理處理→風機→風管→達標排放

酸霧廢氣處理工藝說明酸堿廢氣處理工藝流程